Rubrique : La fabrication des nanocomposants et nanosystèmes
Les nanocomposants et nanosystèmes recouvrent un champ très important de produits et d’applications : « puces » électroniques, MEMS et NEMS (Micro/Nano Electro Mechanical Systems) qui peuvent être des capteurs de température, de pression, inertiels, etc., des imageurs, des cellules solaires, des têtes de lecture magnétique, des disques durs, des écrans plats LCD (Liquid Crystals Display)…
Tous ces composants se caractérisent par l’utilisation de technologies nanométriques pour leur réalisation, mais le produit final est un produit macroscopique. Celui-ci peut faire quelques millimètres carrés ou centimètres carrés pour les puces électroniques, les MEMS et NEMS ou les capteurs d’image (appareils de photographie numérique) jusqu’à des mètres carrés pour des panneaux solaires ou des écrans LCD.
Ces produits se caractérisent par des procédés de fabrication développés depuis plusieurs dizaines d’années et dont les performances et la précision se sont affinées au cours des ans, de dimensions millimétriques ou submillimétriques dans les années soixante, à des dimensions micrométriques dans les années quatre-vingt, puis submicrométriques à nanométriques dans les années quatre-vingt-dix à deux mille. Au-delà du changement d’échelle, les procédés industriels sont restés fondamentalement les mêmes.
Ces opérations se font dans des salles propres appelées salles blanches dont les niveaux de contamination chimique et particulaire contrôlée sont extrêmement bas pour éviter toute contamination des substrats.
